特性
■高速
音圈電機模組可以直接將電磁力轉換為直線運動，能產生高速運動。
■高精度
全閉環反饋控制直接驅動和線性編碼器消除運動損失和背隙，實現高精度。
■高響應
通過與運動控制器的結合，實現了高響應。
適用領域
計量、光子學、半導體、顯示器等制造中的精密掃描